MKS 고진공센서 Baratron

Baratron MKS 626B11TDE는 정밀 압력 측정기로,

주로 진공 및 낮은 압력 환경에서 고정밀 압력 측정이 필요한 공정에 사용됩니다.

이 장비는 특히 동결건조기(lyophilizer) 밸리데이션(validation) 과정에서

챔버 내부의 정확한 압력을 모니터링하기 위해 활용됩니다.

다음은 MKS 626B11TDE에 대한 주요 특징 및 정보를 정리한 것입니다:

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🔧 기본 사양 (626B 시리즈 기준)

• 제조사: MKS Instruments
• 제품군: Baratron® Capacitance Manometer
• 모델: 626B11TDE
• 작동 원리: Capacitance Diaphragm Gauge (CDG)
  • 내부 다이어프램이 압력에 따라 변형되며 정전용량이 변하고, 이를 전기 신호로 변환해 압력을 측정
• 정확도: ±0.12% of Reading
• 압력 범위: 모델에 따라 다름 (예: 1000 Torr, 10 Torr 등)
• 출력: 일반적으로 0~10 V 아날로그 신호
• 진공 적합성: Ultra-clean 설계로 UHV (ultra-high vacuum) 조건에서 사용 가능
• 가스 무관성 (gas independent): 비반응성 및 반응성 가스 모두 측정 가능

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🧊 동결건조기에서의 역할

1. 정확한 챔버 압력 측정:
   • 제품의 sublimation(승화) 공정을 제어하려면 챔버 내 정확한 압력 유지가 필수.
2. Validation & Calibration:
   • 동결건조 공정의 GMP 요건 충족을 위해 압력 트랜스듀서의 정기적 검교정 및 밸리데이션이 필요.
   • Baratron은 높은 정확도와 안정성 덕분에 기준 장비로 사용됨.
3. 비교 교정용으로 사용:
   • 내부 Pirani gauge 또는 capacitance manometer와 비교해 시스템 신뢰도를 평가.

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✅ 장점

• 고정밀 및 안정성
• 오랜 시간 drift가 거의 없음
• 내부 청정도 높음 → 제약, 바이오, 반도체 공정에 적합
• 다양한 범위 제공 → 다중 챔버 조건 측정 가능

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🔍 모델 넘버 해석 (626B11TDE)

• 626: 시리즈
• B: 버전 또는 수정 모델
• 11: 측정 범위 (예: 1000 Torr)
• TDE:
  • T: 통신/출력 타입 (예: 0–10 VDC)
  • D: Digital/Diagnostics 기능 내장 여부
  • E: Electrical 커넥터 형식

※ 일부 접미사는 OEM 사양이나 커스터마이징 여부에 따라 다를 수 있습니다.

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